国家知识产权局信息数据显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司请求一项名为“MOCVD设备及其间托盘高度丈量体系及办法”的专利，公开号CN121207045A，请求日期为2024年6月。
专利摘要显现，本发明供给一种MOCVD设备及其间托盘高度丈量体系及办法。本发明在工艺过程中监测大托盘上待丈量方位的高度改变，经过位移计实时取得各个方位的相对高度值，制作“方位‑相对高度”曲线图，以便于后续根据所述“方位‑相对高度”曲线图对各个小托盘的状况做多元化的剖析，根据剖析成果，对各个小托盘进行气流或机械结构的调整，有助于进步基片上堆积的薄膜质量。
天眼查资料显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，坐落上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。经过天眼查大数据剖析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外出资了30家企业，参加招投标项目72次，产业线条，此外企业还具有行政许可77个。
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